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“微型化”新成員,濱松筆頭大小MEMS-FPI光譜探測器面世

   2025-06-10 濱松光子學商貿(中國)有限公司1019

濱松公司2015年推出了一款最新的微型化光譜探測器——MEMS-FPI C13272。MEMS FPI NIR Spectrum Sensor,全稱“微機電加工工藝制作法布里珀羅腔型近紅外光譜探測器”,簡稱MEMS-FPI。是一款超小型、低成本的光譜探測器產品。雖說微型光譜儀也不是一個新鮮的概念了(2013年濱松就推出了指尖大小的微信光譜儀C12666MA),但是MEMS-FPI C13272的出現,對熟悉光譜儀行業的人來說也會是一個大驚喜。

原因很簡單,因為這個器件徹底打破了傳統意義上人們對于光譜儀的認知,不僅原理上跟傳統光譜儀完全不同,還將微型化做到了新的極致。

既然是“微型化”,那“身材”肯定是棒棒噠。具體有多小,見上圖就好了。之所以能夠做得如此之小,主要是在三個方面的功夫:

1、該器件使用的分光技術不是大家所熟知的光柵,而是極為罕見的方法——法布里珀羅標準具,所以使得該光譜儀僅僅使用單點的InGaAs探測器,就能夠得到光譜圖。這么做的好處是可以用三個“大大”歸納:大大省了InGaAs材料,大大降了制作成本,大大減了探測器部分的體積。

2、法布里珀羅標準具的制作,采用的是MEMS加工方法,從而使分光部分的體積也減小不少。

3、探測器部分和分光部分被封裝在了一個器件之中。

綜上三點,筆頭大的小身板兒就誕生了。

MEMS-FPI近紅外光譜儀結構示意圖

物聯網、可穿戴設備等概念當下也是如火如荼,其不可或缺的推進力,也是傳感器體積和性能的不斷極致。而光譜儀由于能夠幫助人們識別物質,更是成為了眾多廠商和消費者極為關注的一類。但苦于沒有成熟的的微型光譜探測元件方案,如今市面上也鮮有一款能夠幫助人們識別物質成分的民用消費級設備。而現在隨著“微型化”產品的陸續出現,相信那些對于可穿戴“天馬行空”的想法也能將真的夠落地成真了。

就這只MEMS-FPI C13272(光譜范圍在1.55~1.85μm)來說,可以實現對氣體(環境測量)、食品和飲料、農產品、飼料、石油化工等產品的檢測。不過,在如今的這個處處腦洞大開的世界,有點其他的一些應用前景,也是說不定的事。目前濱松擁有該產品的少量配套評估板和軟件,如有意對該產品進行測試評估,敬請和濱松中國取得聯系。

另外,在即將在11月27日舉辦的BCEIA上,MEMS-FPI C13272不但會出展,其可連移動設備的DEMO機也將同臺展出,現場將提供sample,歡迎前來體驗。

MEMS-FPI DEMO模塊可連移動設備


 


 

MEMS-FPI是日本濱松的產品

圖為其在今年9月日本JASIS展出的DEMO模塊實物

想象一下,今后人們通過手里的價格低廉的設備,就能知道所吃食物的物質組成,飲料里是否有不健康的東西,空氣質量的好壞,衣服所含成分等等。人們也可以根據自己的身體狀況,決定喝不喝桌上擺著的這一杯咖啡或者果汁,做飯的時要不要使用那么多油。到那時,健康飲食將不再只是腦中的概念,而是實實在在可以掌控的事實了。


 

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