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大連理工研發新裝備實現硅變形誘導制納米結構

   2018-07-19 中國科學報951
核心提示:  近日,大連理工大學教授張振宇及其博士生王博、崔俊峰等在硅的變形誘導制造新型納米結構方面取得重要進展,相關研究發表于《
   近日,大連理工大學教授張振宇及其博士生王博、崔俊峰等在硅的變形誘導制造新型納米結構方面取得重要進展,相關研究發表于《納米通訊》。

  目前的變形誘導方法主要是金剛石砧板、壓縮、劃擦、彎曲、納米壓痕和納米劃擦。但目前的變形誘導制造納米結構的方法與實際的加工速度相差3~10個量級。

  針對這個難題,大連理工大學自行設計制造了刃口半徑為2.5微米、投影角為140.7°的單顆磨粒金剛石刀具,研制了單顆磨粒納米深度超精密磨削裝備,實現了磨削速度為40.2米/秒的單顆磨粒納米深度超精密磨削試驗新方法,在切削深度為33 納米的時候加工出含有非晶、新的四方相、滑移帶、孿晶超晶格和單晶的新型納米結構。

  新型納米結構的不同顯微結構具有不同的力學、電學和光學性能,在晶體管、IC、二極管、太陽能電池、能量存儲系統、MEMS和NEMS領域具有潛在應用價值,并為新型高性能器件與裝備的設計制造提供了新的思路。

 
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