日立高新技術(shù)公司與筑波大學(xué)于4月1日正式啟動(dòng)“日立高新技術(shù)先端SEM^*1技術(shù)特別合作研究項(xiàng)目。雙方就在筑波大學(xué)內(nèi)成立研發(fā)中心，未來三年共同推進(jìn)技術(shù)創(chuàng)新研究事宜達(dá)成一致。在本項(xiàng)目中，雙方將攜手共同研究SEM基礎(chǔ)技術(shù)，日立高新技術(shù)長(zhǎng)年的技術(shù)沉淀與累積，再加上筑波大學(xué)人才濟(jì)濟(jì)、扎實(shí)的理論知識(shí)和雄厚的財(cái)力，勢(shì)必會(huì)推動(dòng)新產(chǎn)品研發(fā)的過程，促進(jìn)社會(huì)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

SEM可以觀察到納米尺度的微細(xì)結(jié)構(gòu)，而且無需復(fù)雜的前處理。因此，它的應(yīng)用范圍十分廣泛，目前已應(yīng)用到納米技術(shù)、生物技術(shù)等各個(gè)領(lǐng)域的研究開發(fā)、質(zhì)量管理中。在以云服務(wù)以及IoT業(yè)務(wù)范圍擴(kuò)展為目的的半導(dǎo)體元器件開發(fā)、藥物研發(fā)等生命科學(xué)領(lǐng)域中，SEM主要用于產(chǎn)品的觀察、分析以及檢測(cè)，未來有望為社會(huì)以及產(chǎn)業(yè)的發(fā)展壯大作出更多的貢獻(xiàn)。
　　

因此，電子槍和信號(hào)探測(cè)器等SEM基礎(chǔ)技術(shù)的開發(fā)尤為重要。在基礎(chǔ)技術(shù)開發(fā)中我們不但要追求思維創(chuàng)新，還要注重企業(yè)的開放式創(chuàng)新研究。

電子束作為日立高新技術(shù)的核心技術(shù)，同時(shí)這也是它多年來累積的SEM基礎(chǔ)技術(shù)。憑借獨(dú)有的創(chuàng)新技術(shù)，迄今為止日立高新技術(shù)開發(fā)成功的產(chǎn)品數(shù)不勝數(shù)，且高居全球市場(chǎng)占有率之首，例如：用于半導(dǎo)體元器件檢測(cè)的高分辨率FEB測(cè)長(zhǎng)儀器（SEM測(cè)長(zhǎng)儀），用于新材料結(jié)構(gòu)分析的場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡（FE-SEM）等等。筑波大學(xué)作為筑波科學(xué)城的核心，匯集了多家技術(shù)領(lǐng)先世界的科研機(jī)構(gòu)，不但擁有雄厚的資金實(shí)力，能夠助力新技術(shù)研發(fā)，而且這里人才輩出，個(gè)個(gè)學(xué)識(shí)淵博，具有豐富的研究開發(fā)經(jīng)驗(yàn)。為了進(jìn)一步落實(shí)科研成果在產(chǎn)業(yè)界的實(shí)際應(yīng)用，我們還建立了“特別合作研究項(xiàng)目制度^*2”，通過校企合作模式，我們正在積極推進(jìn)課題研究。

在開展本項(xiàng)目的過程中，我們還將充分發(fā)揮雙方的優(yōu)勢(shì)，致力于更難SEM基礎(chǔ)技術(shù)課題的研究，努力實(shí)現(xiàn)高分辨率、高精度、高通量的技術(shù)研發(fā)。同時(shí)，我們會(huì)將在校企合作的開放式創(chuàng)新中取得的科研成果應(yīng)用到產(chǎn)品更新升級(jí)中，不斷研發(fā)出新型SEM以及SEM的應(yīng)用產(chǎn)品，為IoT等社會(huì)基礎(chǔ)設(shè)施、新材料的實(shí)際應(yīng)用、病理診斷、制藥等領(lǐng)域建設(shè)貢獻(xiàn)力量。

在本項(xiàng)目中，日立高新技術(shù)和筑波大學(xué)會(huì)最大限度發(fā)揮雙方的技術(shù)實(shí)力、知識(shí)水平以及人力、財(cái)力等各種資源，推進(jìn)研究開發(fā)工作，滿足用戶更廣泛的需求。同時(shí)，為實(shí)現(xiàn)開放式創(chuàng)新，我們會(huì)更加重視人才培養(yǎng)，努力構(gòu)建全新的技術(shù)網(wǎng)絡(luò)。