設備: 日立環境型原子力顯微鏡 AFM5300E
日立掃描電子顯微鏡 SU3500
背景及目的
SEM是檢測電子束掃描樣品所生成的2次電子，背閃射電子，特征X射線等信號，得出樣品結構，成分，結晶特性，元素分布等信息。另一方面，SPM是利用探針和樣品表面的相互作用，表征高精度樣品形貌及硬度和摩擦力，吸附力等敏感的力學物理特性及電流，電氣阻抗，表層電位，壓電特性，磁性等電磁物理特性。在這里我們介紹，包含氧化鉛和硫磺的橡膠樣品的SEM背閃射電子圖像和X射線面分布像及利用SPM的形貌像(AFM像)和相位像(Phase像)的觀察結果。
1) Phase像
根據樣品表面的硬度和吸附力對比，利用共振懸臂的相位變化成像物理特性的方法。
圖1 SPM、SEM的檢測信息和橡膠樣品中的應用
2) 觀察結果
圖2 橡膠樣品的SEM、SPM觀察同一視野結構觀察
在背閃射電子像（BSE像）里重元素的對比度高，EDX元素分析得知這個區域含有鉛元素和氧元素。SPM的Phase像觀測中我們選用兩類橡膠的彈性有較大差別的冷卻溫度-10℃，致使微區當中明顯區分兩種橡膠分布。SEM和SPM聯系起來，表面的形貌和元素，結構，各種物理特性(力學特性和電磁特性)的面分析信息相結合，給基礎研究，產品研發等提供更多觀察及分析手段。
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關于日立高新技術公司：
日立高新技術公司，于2013年1月，融合了X射線和熱分析等核心技術，成立了日立高新技術科學。以“光”“電子線”“X射線”“熱”分析為核心技術，精工電子將本公司的全部股份轉讓給了株式會社日立高新，因此公司變為日立高新的子公司，同時公司名稱變更為株式會社日立高新技術科學，擴大了科學計測儀器領域的解決方案。日立高新技術集團產品涵蓋半導體制造、生命科學、電子零配件、液晶制造及工業電子材料，產品線更豐富的日立高新技術集團，將繼續引領科學領域的核心技術。
