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使用干涉顯微鏡測量表面粗糙度

   2025-06-11 現(xiàn)代實驗室裝備網(wǎng)879
    1.了解干涉顯微鏡的結(jié)構(gòu)并熟悉其使用方法

    2.熟悉用干涉法測量表面粗糙度的原理

    3.加深對表面粗糙度評定參數(shù)中的微觀不平度

    一、測量原理

    干涉顯微鏡是利用光波干涉原理和顯微鏡系統(tǒng)測量表面粗糙度的量儀。它用光波干涉原理反映出被測表面的粗糙程度,用顯微系統(tǒng)進行高倍放大后觀察和測量。

    二、實驗步驟

    1.調(diào)整量儀

    接通電源,預(yù)熱15-30分鐘;轉(zhuǎn)動手輪至目視位置,轉(zhuǎn)動手輪使遮光板移出光路,此時從目鏡可看到明亮的視場。若視場亮度不勻,可轉(zhuǎn)動螺釘來調(diào)節(jié);轉(zhuǎn)動手輪,使視場中下方的弓形直邊清晰,松開螺釘,取下目鏡,從目鏡管直接觀察到兩個燈絲象。將孔徑光闌開至最大,轉(zhuǎn)動手輪使兩個燈絲象完全重合;將被測工件放在工作臺上,被測表面向下對準物鏡。轉(zhuǎn)動手輪使遮光板遮住標準鏡,推動滾花輪,使工作臺在任意方向移動,轉(zhuǎn)動滾花輪使工作臺升降,直至視場中觀察到清晰的被測表面影像為止,再轉(zhuǎn)動手輪,使遮光板移出光路。

    2.找干涉帶

    此時采用單色光,慢慢地來回轉(zhuǎn)動手輪,直至視場中出現(xiàn)清晰的干涉條紋為止。

    4.測量

    轉(zhuǎn)動滾花輪,使工作臺旋轉(zhuǎn),調(diào)節(jié)干涉條紋的方向使之垂直于加工痕跡,松開螺釘,轉(zhuǎn)動目鏡,使視場中十字線的一條直線與干涉條紋平行,然后把目鏡固緊。接著開始測量你所需測量的數(shù)據(jù)。

 

 
標簽: 顯微鏡,測量
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