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利用超高效合相色譜應對半導體行業先進光刻材料開發與供應所面臨的挑戰

   2025-06-08 沃特世科技(上海)有限公司(Waters)689

目的

提供對配方產品的直接、準確和快速的分析。利用超高效合相色譜(ACQUITY UltraPerformance Convergence Chromatography™,UPC2™),以最少的樣品制備對平板印刷品進行快速而直接的色譜分析。
背景
光刻材料,比如光刻膠和防反射涂層,是專門為電子業生產的配方型特種涂層。在高反射率襯底上處理時,這兩種涂層經常結合使用,以盡量減少刻痕并控制線寬,從而改善圖案轉移。染色光刻膠則是將防反射涂層與光刻膠進行有機結合的統一體。該系列中的許多產品都采用芳香偶氮染料,如蘇丹紅(Sudan dyes)系列1,2,3。
由于染料分析、染料溶解性的不同以及其它制造偏差,因此需要進行產品分析,以便對染料濃度進行校準調節。目前的分析方法是對流延膜進行紫外測量,并進行功能評價,這樣會產生沒有特定組分信息的大量數值。因此,需要進行其它的功能測試,這樣會增加制造周期,以及超過2,000美元/批次的測試成本。此外,通常采用正相HPLC檢測來進行記入錯誤的批量校正。HPLC檢測循環時間為12至24小時,涉及大量的樣品制備,包括聚合物沉淀和過濾。


解決方案
該技術簡報介紹了利用Waters® ACQUITY UPC2系統(基于超臨界流體色譜法的原理),進行配方產品的分析方法。最終的配方產品用四氫呋喃稀釋10倍,裝入樣品瓶,然后直接進樣-不需要大量的樣品制備,如聚合物沉淀、過濾或冗長的系統平衡過程。

圖2所示為混合標準溶液、空白非染色產品和帶混合染料包的全制劑產品的色譜圖。在不到2分鐘的時間內,4種染料以及典型染料雜質,均得以基線分離。

采用基于混合染料標準品的外標校正法,可輕松實現產品中分析物的定量,如表1所示,是4種產品混合物的分析數據。參照目標或配方產品分析,可提供產品中染料混合物的定量校準。

三種測試混合物的中間試驗表明,染料包的添加量過低。另外,對于每個產品中所混合的配方染料,分析突出了其中個別不成比例染料的含量。通過本分析方法可在比傳統方法更短的時間內,對每個產品混合物進行配方校正,并直接反映出總染料含量以及相對染料比例。
總結
■ 采用ACQUITY UPC2系統,通過簡單的稀釋和分析流程,在不到2分鐘時間里快速完成產品分析,為制造控制提供了及時的反饋。
■ 單個染料被輕松定量,滿足產品要求。
■ 三種被測產品混合物分析,不僅輕易地測定了染料含量,還測定了個別染料不成比例的量。
■采用ACQUITY UPC2分析方法,可對生產批次加以調控,從而滿足對單個組分的要求。
■ ACQUITY UPC2可直接根據產品生產校正的需要,提供近乎實時的測定,方便產品成分控制,幫助消除記入錯誤和產品溢出。

參考文獻
1. R F Sinta, T F Zydowsky. Dyed photoresists and methods and articles of manufacture comprising same. European Patent no.EP 0930543A1.
2. M W Mongomery, C Hamaker. Sensitized chemically amplified photoresist for use in photomask fabrication and semiconductor processing. U.S. Patent no. 7067227B2.
3. A Zampini, P Trefonas, et al. Positive dye photoresist compositions with 2,4-bis(phenylazo)resorcinol.U.S. Patent no. 4983492.
 
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