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天津研制“納米測量標準器”獲國家專利

   2025-06-11 新華網631
  天津檢驗檢疫局課題組研制的“納米尺度測量標準器”近日獲得國家實用新型專利授權。該項目可讓納米尺度測量更準確,避免了日常因測量結果不準確而產生的復檢、爭議等問題,從而填補納米材料領域標準器的國內空白。

  隨著納米科技飛速發展,用于測量納米尺度的高分辨率測量器具一直是人們關注的課題,為了得到更準確的測量結果,需要有一個更接近于樣品尺度的標準物質―― “納米標準器”。為此,天津檢驗檢疫局化礦金屬材料檢測中心課題組經過兩年的研發,通過精選納米標準器材質,采用先進的聚焦離子束刻蝕技術,研制成功一種新型的用于掃描電鏡納米尺度測量的納米標準器。

  據課題組傅志強介紹,該納米標準器總體而言,具有分辨率高、線距均勻、材料穩定、設計獨特等特點。例如,標準器具有78納米的標準周期線距,遠小于目前公認的S1000標準器的線距1000納米(1微米),是真正意義上的納米級標準器;每個刻度周期線距的均勻性和一致性,可使得最小線距整數倍的距離都可以作為標準長度來比對;材料膨脹系數低、性能穩定;設計獨特,將橫線、豎線、點陣和圓環形狀的標準刻度于一體,可以滿足不同形狀樣品的比對測量需求,從而解決了納米尺度更準確的測量問題,對國內納米行業的發展將起到很大的促進作用。

  據介紹,該標準器在檢驗檢疫部門實際工作中,可用于納米級金屬粉末、金屬氧化物、碳納米材料等的掃描電鏡長度測量,相比于傳統的手段,在操作方面有體積小巧、定位容易、刻度清晰等優勢,可增加掃描電鏡長度測量精確度10%,避免了日常因測量結果不準確而產生的復檢、爭議等問題,具有較強的實際應用水平。

  記者了解到,該標準器目前已經開始應用于天津檢驗檢疫局實驗室掃描電鏡測量納米材料尺度的檢測實際工作中。

 

 
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