隨著去年由牛津儀器主辦，中科院半導體所協辦的研討會成功舉行，吸引了110余名來自半導體領域的用戶。今年牛津儀器將再次在上海舉辦為期一天的納米級等離子研討會.
研討會設在Semicon 2012的前一天, 牛津儀器的國外應用專家及國內知名機構的用戶將出席并發言.
本次研討會主題與主講者如下:
• Introduction to ALD and its applications, including photovoltaics; Prof Erwin Kessels, University of Eindhoven (TU/e), Netherlands
• Etch & deposition process in the OPTO and MEMS application device; Dr. Chu Ann-Kuo, Professor of Department of Photonics, National Sun Yat-sen University, Taiwan
• Infrared Focal Plane Arrays (IRFPAs) detector for space applications; Dr. Zhenghua YE, SITP (Shanghai Institute of Technology Physics)
• Micro/Nano fabrication and characterization of Si field electron emitters; Guest Speaker: Dr. Juncong SHE, Sun Yat-Sen University, China
• ALD used in the MEMS application; Jerry Wang, Manager of Microsystems Technology Center, ITRI, Taiwan
牛津儀器等離子部的亞洲銷售經理Jeffrey Seah先生將為這次研討會致開幕詞：“預計將有許多的觀眾參加這次的研討會, 我們非常榮幸地邀請到了國內知名機構的用戶介紹他們如何操作使用我們的等離子工藝，同時還有機會與等離子工藝應用專家們分享經驗, 從而讓大家學習到更多的相關知識。”
我們在2011年取得了成功，今年的研討會也會有眾多知名的嘉賓到場并發表精彩演講，牛津儀器真誠地期待對等離子工藝的學術和生產有濃厚興趣的觀眾參加。
此次活動可免費參加，但必須提前通過以下郵箱預訂process.news@oxinst.com 或 lingling.wang@oxinst.com
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牛津儀器公司于1959年創建于英國牛津，現已成為世界領先的科學儀器跨國集團公司，是光譜儀、測厚儀、能譜儀、等離子設備、超導超低溫產品、核磁共振儀、低溫泵壓縮機、X射線管等方面的專家，擁有分布于英國、美國、芬蘭、丹麥、德國和中國的十幾個工廠以及遍及全球的分公司或辦事處。
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