等離子清洗機真空反應艙尺寸:內徑4.0英寸(102毫米),7.9英寸(200毫米)深
材質:純石英
輸入功率:150W(最大)
工作頻率:13.56MHz
射頻功率:0W~30W 功率旋鈕連續調節
洗機重量:16公斤(約)
尺寸:12.3英寸(312毫米)高x 30英寸(762毫米)寬x 12.4英寸(315毫米)深
真空計:熱偶式、數碼顯示、實時監控真空反應艙內壓力。
氣體混合計:配備氣體流量控制系統,可以精密控制工藝氣體喂入及混合。
配套托盤:純石英材質