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供應GIK小型等離子清洗蝕刻機系統 臺式進口納米級緊湊型

   2025-06-12 http://weibo.com/733085677166

等離子清洗機真空反應艙尺寸:內徑4.0英寸(102毫米),7.9英寸(200毫米)深

材質:純石英

輸入功率:150W(最大)

工作頻率:13.56MHz

射頻功率:0W~30W 功率旋鈕連續調節

洗機重量:16公斤(約)

尺寸:12.3英寸(312毫米)高x 30英寸(762毫米)寬x 12.4英寸(315毫米)深

真空計:熱偶式、數碼顯示、實時監控真空反應艙內壓力。

氣體混合計:配備氣體流量控制系統,可以精密控制工藝氣體喂入及混合。

配套托盤:純石英材質

 
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