隨著我國半導體、制芯業的發展，高純氣體管道的應用也越來越廣泛，象半導體、電子、醫藥、食品等行業都不同程度的使用了高純氣體管道，因此高純氣體管道的施工對于我們來說也越來越重要。
二、適用范圍
本工藝主要適用于電子、半導體廠房的氣體管道安裝、測試，焊接薄壁不銹鋼氣體管道，同時也適用于醫藥、食品等廠房的潔凈管道施工。
三、工藝原理
?根據工程特點，工程的施工前后分為三個步驟，每一步都要經過嚴格的質量和潔凈度檢查，第一步是管道的預制，為保證潔凈要求，管道的預制一般是在1000級的預制間內進行；第二步是現場安裝；第三步是系統的測試，系統測試主要是對管道內的塵埃粒子、露點、含氧量、碳氫化合物的含量進行測試。
四、主要施工要點
（一）施工前的準備
1、組織勞動力，準備施工中使用的機具、設備。
2、搭建預制間，潔凈度1000級。
3、施工圖分析，根據工程特點及實際情況編制施工方案，做好技術交底。
（二）管道預制
1、由于高純氣體管道要求的潔凈度較高，為了減少安裝現場的焊接工作量，確保潔凈度，所以管道的施工先在1000級的預制間中預制，施工人員應穿潔凈服，使用的工機具應保證潔凈，另外施工人員應有較強的潔凈意識，施工過程盡量減少對管子的污染。
2、管道的下料管道下料使用的是專用的切管工具，切出的端面絕對和管軸心線垂直，切管時應采取措施避免外界的灰塵、空氣對管子內部的污染，下好的料應分組編號以便于組對焊接。
3、管道焊接，管道焊接前應先編制焊接程序輸入到自動焊機，試焊樣品，樣品合格后，方能焊接，進行完一天的焊接后，再焊樣品，如果樣品合格，由于焊接參數一直儲存在焊機里，自動焊機焊接時又非常穩定，所以焊縫質量也是合格的。焊接質量由微機控制，減少了由于人為因素對焊接質量的影響，既提高了工作效率，又能得到高品質的焊縫。
4、焊接工序
（三）現場安裝
1、高純氣體管道的現場安裝應整潔干凈，安裝人員必須戴潔凈手套。
2、支架設置距離應符合圖紙設計要求，每一固定點套上EP管專用的橡膠套。
?3、預制好的管子運到現場，不能磕碰踩踏，不能直接放到地面上，擔上支架后，立即上管卡。
4、現場的管道焊接和預制階段管道焊接程序相同。
5、焊接完畢經有關人員對焊口樣品及管道上的焊口檢驗合格后，貼焊口標簽，填寫焊接記錄。
（四）系統測試
1、系統檢測是高純氣體施工的最后一環，它是在管道壓力試驗、吹掃結束后進行。
2、系統測試使用的氣體首先是合格氣體，氣體的潔凈度、含氧量、露點及碳氫化合物應符合要求。
3、指標的檢測是通過在管道里充入合格氣體，在出口處用儀器測量，管道里吹出的氣體合格了，說明這條管路指標合格了。
五、材料
高純氣體管道按其流通介質的工藝要求一般采用薄壁不銹鋼管，通常采用316L（00Cr17Ni14Mo2）。主要有鉻、鎳、鉬三種合金元素，鉻的存在提高了不銹鋼在氧化性介質中的耐腐蝕性，形成一層富鉻氧化膜；而鉬的存在則提高了不銹鋼在非氧化性介質中的耐腐蝕性；鎳是奧氏體的形成元素，它們的存在既提高了鋼的耐腐蝕性，又提高了鋼的工藝性能。
六、機具設備
自動焊機 ARC M207A 2臺
切管機 RA41 臺
端面加工機 2臺
電源穩壓器 2臺
手工鎢極氬弧焊機 3臺
氬氣過濾器 3個
不銹鋼彎管器 1/4″、3/8″、1/2″、3/4″各1個
粒子測試儀 1臺
露點測試儀 1臺
碳氫化合物測試儀 1臺
氬氣純度檢測儀 1臺
七、勞動力組織
項目經理 1名
管道工程師 1名
焊接工程師 1名
管道施工組長 2名
焊 工 2名
管道施工組員 6名
八、施工質量要求
1、工程施工執行的質量標準
⑴ 潔凈室施工及驗收規范 JGJ71-90
⑵ 潔凈廠房設計規范 GB50073-2001
⑶ 工業金屬管道工程施工及驗收規范 GB50235-97
⑷ 現場設備、工業管道焊接工程施工及驗收規范GB50236-98
2、為保證工程質量，應采取下列措施
⑴ 工程技術人員負責施工計劃、工程技術和潔凈措施的制訂，繪制預制加工圖，并負責組織、指導全面實施，對施工質量負責。
⑵ 管工必須按規定的潔凈、技術措施按圖預制和安裝，負責專用設備的正確使用和保養，負責做好各項測試準備工作和測試工作，負責管道的預制、安裝達到質量標準。
⑶質量檢驗人員，應對管道預制、安裝作業進行全面質量檢查和控制，督促檢查各項潔凈措施的貫徹執行；檢查確認預制安裝質量、檢查確認焊接前后的焊口樣品；檢查確認焊接記錄和各種檢測及其記錄的正確性；并負責匯總和整理交工資料。
?⑷ 發生質量事故，不得隱瞞，及時上報，查找原因并及時解決。
九、安全措施
1、嚴格執行《建筑安裝工人安全技術操作規程》及中電四公司的安全規章制度，組織工人學習，經考核合格后方能上崗。
2、高空作業，腳手架在超出地面兩米（含兩米）以上時，人員須系安全帶，工具須放入工具袋內，腳手架必須圍籬。
3、所有帶電設備、帶電工具必須有漏電保護措施，臨時電纜、電線的接線須由專職電工實施。
4、動火作業應辦理動火作業許可證，動火作業人員應持證上崗，并備好防火用品。
5、安全人員隨時檢查班組施工人員的安全情況，發現安全隱患及時排除。
