LEXT OLS4500 納米檢測顯微鏡將激光顯微鏡與掃描探針顯微鏡*3(SPM)組合在同一臺機(jī)器上，從而允許更大范圍放大倍率下的觀察與測量(從50倍到100萬倍)。奧林巴斯公司與Shimadzu公司聯(lián)合開發(fā)了LEXT OLS4500。
LEXT OLS4500集成了激光顯微鏡功能，對于復(fù)雜表面非接觸性3D測量，具有行業(yè)領(lǐng)先的可重復(fù)性*1和準(zhǔn)確性*2保證，新的功能比如一鍵單擊即可自動(dòng)獲取3D圖像，圖像獲取速度大約是現(xiàn)有奧林巴斯各種型號產(chǎn)品的兩倍。
● 主要特性
LEXT OLS4500 納米檢測顯微鏡功能上的新特性：單一掃描區(qū)域里的高分辨率觀察和高精確性測量;設(shè)計(jì)便于新手操作，包括自動(dòng)3D圖像獲取功能;3D圖像獲取速度大約是現(xiàn)有奧林巴斯各型產(chǎn)品的兩倍;組合了光學(xué)顯微鏡、激光顯微鏡和探針顯微鏡功能的一體機(jī)。
● 發(fā)布背景
近年來，隨著便攜式數(shù)據(jù)裝置和工業(yè)設(shè)備變得越來越小，性能越來越高，而使用人員同時(shí)還要求這些產(chǎn)品中使用的傳感器和其它電子組件更加小型化，性能更強(qiáng)。由于這些組件也要求嚴(yán)格的質(zhì)量控制，因此也需要能夠測量表面特性，比如梯度和粗糙度的高度可靠的3D形狀測量器械。同時(shí)，需要細(xì)微表面特性量化控制的行業(yè)范圍擴(kuò)展迅速，包括自動(dòng)和特色材料部。相應(yīng)地，樣本的特性也更多樣化，包括具有復(fù)雜形狀，或粘連特性的樣本，尤其對于研發(fā)中使用，以及生產(chǎn)過程中使用的器械，對其的要求日益增加。奧林巴斯3D測量激光顯微鏡LEXT系列可以觀察并測量尺寸從幾百微米到亞微米的樣品，卓越的3D表面特性的能力使其在工業(yè)和專業(yè)研究領(lǐng)域得到廣泛使用。目前，奧林巴斯公司已添加了新的型號，以滿足在更大范圍里以更高的精確性進(jìn)行測量和觀察的要求。
● 主要特性
LEXT OLS4500納米檢測顯微鏡的特性
1. 高分辨率觀察和更大范圍的高準(zhǔn)確性測量
由于大范圍上的測量通常要使用低放大倍率，因此此類圖像的清晰范圍有個(gè)限制。為解決這個(gè)問題，新的顯微鏡可以實(shí)施高分辨率觀察，并使用拼接功能在大范圍上實(shí)施高精確性測量，即將625幅不同放大倍率的圖像組合在一起，從而可以用高分辨率來識別小的區(qū)域。而過去的大多數(shù)激光顯微鏡一直用于研發(fā)，及其相關(guān)領(lǐng)域，以觀察很小的樣本，以高精確性來觀察很大的范圍的能力也在工業(yè)中開啟了顯微鏡作為質(zhì)量控制工具的先河。
2. 設(shè)計(jì)易于新手操作，包括自動(dòng)3D圖像獲取功能
傳統(tǒng)上3D成像需要復(fù)雜的設(shè)定(亮度和上下限)。采用新的智能掃描模式后，用戶一鍵單擊即可獲取3D圖像。該功能設(shè)計(jì)允許即使是初次使用者，獲取的結(jié)果也等同于經(jīng)驗(yàn)豐富的操作者。
3. 3D圖像獲取的速度大約是現(xiàn)有奧林巴斯各種型號的兩倍
新型的Ultra-Fast型號獲取3D圖像的速度大約是現(xiàn)有Fast型號的兩倍，比Fine型號快九倍。加速了樣品觀察和測量，大幅提高了效率。
4. 單一器械組合了光學(xué)顯微鏡、激光顯微鏡和探針顯微鏡*5功能
SPM技術(shù)與LEXT OLS4100功能的組合意味著可以用很大范圍的放大倍率來進(jìn)行觀察和測量，從幾十倍到100萬倍。也就是說可以將該顯微鏡用于3D測量，從微米范圍里相對比較大的樣本到納米尺寸的樣本。此外，使用光學(xué)或激光顯微鏡功能，該顯微鏡可以快速而準(zhǔn)確地切換到超高放大倍率SPM觀察(大約100萬倍)，而不會丟失要觀察的位置的蹤跡。比如，在研究所里對新材料實(shí)施形狀測量時(shí)，可以實(shí)施各種類型的觀察，而不用變換樣本，并且能夠以最適合的放大倍率進(jìn)行測量。
*1： 反復(fù)的測量值之間的偏差程度。計(jì)量學(xué)里的技術(shù)詞匯。
*2： 測量值與其真實(shí)值的差距。計(jì)量學(xué)里的技術(shù)詞匯。
*3： 通過探針機(jī)械式地在樣本表面移動(dòng)的納米級別的觀察和測量技術(shù)。
*4： 1納米是十億分之一米。
*5： 掃描探針顯微鏡將探針靠近樣本表面，實(shí)現(xiàn)納米級的觀察和測量
