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EMS 150膜厚監控儀

 
品牌: EMS
單價: 1.00元/臺
起訂: 1 臺
供貨總量: 999 臺
發貨期限: 自買家付款之日起 3 天內發貨
所在地: 北京
有效期至: 長期有效
最后更新: 2019-02-27 11:54
瀏覽次數: 518
 
公司基本資料信息
詳細說明
 EMS 150膜厚監控儀(Film Thickness Monitor)

EMS 150膜厚監控儀和噴金儀/離子濺射儀/噴碳儀/蒸發鍍膜儀配套使用,以便對膜厚進行監控。提供內置模塊和外接裝置。

石英晶體是離子型的晶體,由于結晶點陣的有規則分布,當發生拉伸或壓縮時能產生電極化現象,稱為壓電現象。石英晶體壓電效應的固有頻率不僅取決于其幾何尺寸,切割類型,而且還取決于芯片的厚度。當芯片上鍍了某種膜層,使芯片的厚度增大,則芯片的固有頻率會相應的衰減。膜厚監控儀就是通過測量頻率或與頻率有關的參量的變化而監控淀積薄膜的厚度。

膜厚監控儀(FTM)是如何工作的呢?鍍膜時,膜厚監控儀里面的晶振片的高速振動,測試每秒鐘振動次數的改變,從所接受的數據中計算膜層的厚度。

 

儀器參數:

儀器尺寸

300mm (W) x 150mm (D) x 75mm (H)

重量

6Kg

可配套儀器

EMS 450, EMS 550, EMS 575, EMS 650,
EMS 675, EMS 950, and the EMS 975

晶片座

置晶片裝置

密度范圍

1.55 to 23.0g/cm-3

測控范圍

5 to 999nm

鍍碳時精度

0.8nm

鍍金時精度

0.1nm

電源

230V 50 Hz (3 Amp Max)

 

訂購信息;

貨號

產品名稱

規格

91006

EMS 150 Film Thickness Monitor complete with terminate unit including crystal holder and fitted crystal. Standalone.

91006-M

EMS 150 Film Thickness Monitor Built-in Module

91008

Spare Crystals

91009

Spare Glass Cylinder

 

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