美國產Plasma Cleaning System
PE25臺式實驗室等離子表面處理機
        等離子表面處理機是一種非破壞性的表面處理設備，它是利用能量轉換技術，在一定真空負壓的狀態下，以電能將氣體轉化為活性極高的氣體等離子體，氣體等離子體能輕柔沖刷固體樣品表面，引起分子結構的改變，從而達到對樣品表面有機污染物進行超清洗，在極短時間內有機污染物就被外接真空泵徹底抽走，其清洗能力可以達到分子級。在一定條件下還能使樣品表面特性發生改變。因采用氣體作為清洗處理的介質，所以能有效避免樣品的再次污染。等離子清洗器既能加強樣品的粘附性、相容性和浸潤性，也能對樣品進行消毒和殺菌。等離子清洗器現已廣泛應用于光學、光電子學、電子學、材料科學、高分子、生物醫學、微觀流體學等領域。小型等離子清洗機以體積小、成本低、操作簡便等特點廣泛應用于科研及小批量生產場合。

    PE公司成立于1980年，致力于提供電子行業用的等離子設備及相關服務。通過幾十年的發展，公司發展成為提供等離子設備方面的專家，可為客戶提供專業的產品和解決方案，先后眾多知名企業提供等離子處理設備：美國宇航局NASA, 美國波音Boeing，著名的電子保安系統產品制造商美國霍尼韋爾Honeywell,美國摩托羅拉Moto, 德國拜耳Bayer，世界軍用飛機的領軍企業美國洛克希德馬丁Lockheed-Martin等等。

PE公司介紹
 

   PE25小型等離子表面處理設備是專門針對于大學，研究機構和工廠研發設計的小批量樣品處理裝置.作為有針對的設計，突出移動方便，超高功能和性能，操作方便的使用特性。
 
 
設備特點:
1. 體積小，(寬356mm*高368mm*深457mm)，配備小型真空泵，無需占用很大空間，可以放置在任何實驗臺上。
 
2. 性能可靠，“度量”寬大。真空腔體采用T6061經過特殊處理的航空鋁合金材料無縫焊接，電極面積達到89mm*170mm，腔體與電極之間的間隙可到53mm，可以輕松將大部分實驗樣品放入真空腔體內。
 
3. 配置靈活，PE25擁有靈活多變的參數配置組合，能夠滿足使用者的不同需求。除了配置不同的頻率（50KHz，13.56MHz），不同的頻率段，還提供不同的功率以供用戶選擇。在控制系統上，也配置了面板控制和更精準的全數字電腦控制，以滿足用戶的使用要求。
 
4. 操作簡便，設備的安裝非常簡單，工廠還提供詳盡的說明和相應的管道等配件。面板的操作部分，在設計中做到盡可能簡單和避免誤操作。一般操作人員在極短的時間內就可以熟練操作，甚至只需要幾分鐘就可掌握。
 
5. 安全保障：在小型設備中，唯一引入一鍵急停保護按鈕，當參數設置有誤而設備已經啟動的時候，可以快速終止實驗，以最小程度降低因操作失誤而造成對樣品的損害。
 
PE-25參數：
外部尺寸
W14xH14.5xD18 （356mm*368mm*457mm ）重量：52磅
真空腔材質
耐用的焊接6061 T6鋁合金真空腔
真空腔尺寸
5IDx8D （127mm*203mm）
電極尺寸
89*178mm，間隙63mm
等離子發生器
功率 max.150w（可調） 
頻率：50KHz（可選配13.56MHz）
供氣
氣體流量控制器  0-25cc/min w/精密針形閥
壓力測量
熱電偶真空計  0-1Torr
控制器
PLC微電腦控制系統。方案工藝可以進行自動處理
安全保障
一鍵急停按鈕
電源
220VAC，14A
 
附件（可選件）
抽氣裝置：推薦型號：5 CFM  2級  直驅真空油泵
•氧氣發生器
•附加第二氣體通道。附加第二氣體控制器，0-25cc/min
•100w, 13.56MHz可自動調節射頻發生器
 
  
 
高級裝置：
•PC /筆記本電腦的控制系統：裝載有等離子蝕刻軟件的一臺筆記本電腦是包括全自動系統操作，
流程排序，多配方存儲，以及其他高級功能。
•質量流量控制器：附加質量流量控制器也可提供。
樣品處理實例（碳化鎢基底上的DLC涂層去除）

功能：
• 對金屬、玻璃、硅片、陶瓷、塑料、聚合物表面的有機污染物 （如石蠟、油污、脫膜劑、蛋白等）進行超AA清洗。
• 改變某些材料表面的性能。
• 使玻璃、塑料、陶瓷等材料表面活化，加強這些材料的粘附性、相容性和浸潤性。
• 清除金屬材料表面的氧化層。
• 對被清洗物進行消毒、殺菌。