全反射X射線熒光光譜儀的工作原理（TXRF） 
X射線熒光光譜分析法(XRF)的原理：原子受原級X射線激發后，發出次級X射線熒光。因此，XRF 分析法可以： 
 根據熒光的波長和能量，確定元素； 
 各元素的濃度可根據熒光的強度進行計算。 

X射線由Mo靶或W靶產生，在Ni/C人工多層膜上反射并單色化。扁平的光束以非常小的角度(0.3 – 0.6 °)掠射裝有樣品的樣品架，并產生全反射。樣品所產生的特征熒光被能量色散探測器(XFlash® detector) 探測，強度通過偶合的多通道分析器測量。