最重要的特性：
通過高水平的SEM和EDX硬件集成實現(xiàn)了快速、完全自動化的數(shù)據(jù)采集；
基于VEGA SEM平臺；
新設計的樣品臺集成了BSE/EDX校正標準和法拉第杯；
根據(jù)客戶的需求更改樣品的尺寸；
最多集成4個EDX探測器確保系統(tǒng)的性能最高；
新的Peltier冷卻型EDX探測器確保熱穩(wěn)定性；
改進的方法使數(shù)據(jù)分析既快又可靠；
根據(jù)樣品的每個部分可調(diào)整掃描和EDX分析的時間；
離線數(shù)據(jù)處理；
各種各樣的數(shù)據(jù)分析模塊；