屬性
臺式;需要防震
臺式;需要防震
自帶防震臺;可選Ergotron arm

X-Y樣品臺
150mm手工;
±6°傾斜調制系統
150mm手工;
可選150mm自動;
±6°傾斜調制系統
200mm帶有編碼器可編程;
300mm帶有編碼器可編程（可選）;
掃描頭內部集成的±6°傾斜調制系統