廈門分子泵安捷倫分子泵

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來自于鍍膜工藝方面的技術難題
系統的本底壓力在 10-7 mbar的范圍
穩定的工藝壓力在 10-3 mbar的范圍
必須具有高氬氣負載能力
大量熱量的產生

來自于環境以及系統運行中的技術難題
必須保持高產量的客觀事實
濕度及冷凝水
顆粒及混合物
系統整合控制需求
系統自我早期診斷需求
精確的轉子設計
溫度的監視及控制
內置保護裝置 (噴吹/放氣)
工業級的耐用性外殼設計
內置的早期自我診斷系統