制造廠商介紹：
北京意力博通技術發展有限公司, 是韓國COXEM公司在國內的合作伙伴，COXEM為國內電鏡客戶配套其物美價廉的小型濺射儀和蒸碳儀。意力博通是由中國科學院北京科學儀器廠的幾位高級工程師創辦，他們個人在掃描電鏡、X射線能譜儀軟件硬件方面的技術水平，在國內是頂級水平。最初意力博通主要業務是維修掃描電鏡或者數字化升級改造國內外模擬型掃描電鏡，能譜儀，包括幫助推廣中科院上海硅酸鹽所的專利技術掃描電聲顯微鏡，以及代理德國布魯克能譜儀，但國內市場情況不好，或者說可能這幾位高級工程師并不擅長商業貿易。因此他們逐漸把精力放在有更大市場的小型離子濺射鍍膜和蒸發鍍膜設備的研發上，現在他們已經向國內客戶提供了幾百上千套各種功能的小型鍍膜機，包括按照客戶意愿定制的產品，最近兩年，出口到發達國家也有幾十臺。意力博通的工程師，不斷改進工藝提高產品可靠性，并按照客戶需要，開發各種功能，并適時推出標準化產品。目前可以提供的標準化產品包括：
ETD-2000Ⅲ/3000Ⅲ 離子濺射儀：依據二極(DC)直流濺射原理設計而成的，最簡單、可靠、經濟的鍍膜設備。他相對于ETD-2000/3000的特別之處是在一個真空室內設計安裝了三個靶。旋轉樣品臺，可以依次在同一樣品上涂覆三種材料。適用于實驗室的各種復合膜樣品制備，及非導體材料實驗電極制作。
配置參數如下：
靶（上部電極）：直徑：45mm，厚度：0.12mm
真空樣品室： 直徑：160mm，高：120mm
樣品臺高度調節：手動調節
濺射面積： Ф45mm，三區域
真空指示表： 最高真空度：≤ 4X10-2 mbar
離子電流表： 最大電流：50mA(100mA)
定時器： 最長時間：900S
微型真空氣閥： 可連接φ3mm軟管
可通入氣體： 多種
最高電壓： -1600（-3000）DCV
機械泵： 2L/S
樣品表面離子清潔（選配）
意力博通還提供以下服務：
維修或改造所有類型任何品牌的掃描電子顯微鏡(SEM)、數字圖像和Si(Li)探測器。提供國產化能譜儀及改造X射線能譜儀等。
