可從最小量的樣品中獲得精確的測量結果，是這種儀器獨有的特點
MAT253質譜儀系統提供靈活而開放的平臺，以進行入口系統及制備設備的連接。Thermo Finnigan提供的入口系統以一種“即插即量”的方式被系統自動識別。另外，系統是開放的，方便對通用入口／制備系統的連接和控制。通過和氣體同位素數據系統的完全整合，使得MAT 253容易安裝、調試及全自動運行
• 質量數范圍：1～150amu 
• 可連接多種樣品制備裝置包括元素分析儀、氣相色譜儀、多用途樣品制備裝置等 
• 更可擴展到Si、Cl的氣體樣品以及惰性氣體的同位素比值精確測定 
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