無塵烤箱技術指標
1.產品特點：
◆ 內、中桶材質采用SUS304＃無磁性鏡面不銹鋼，外膛采用 SS41# 中碳鋼板經磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆，可防止微塵(PARTICLE) ；
◆ 全周氬焊，耐高溫硅膠迫緊，SUS304＃不銹鋼電熱產生器，防機臺本身產生PARTICLE；
◆ 耐高溫，能有效過濾微塵而達到潔凈等級class100＃；
◆ 疊層組合式，減少場地占用面積，效率高。

2.無塵烤箱適用范圍： LCD、CMOS、IC制程烘烤。

3.無塵烤箱技術參數： 

型 號  SPQ3-80 SPQ3-100 SPQ3-150
內部容積 80L 100L 125L
內部尺寸 50×40×40 50×45×45 50×50×50
內尺寸表示為：W×H×D 寬×高×深 單位：cm
功率(KW) 3.0 3.5 4.0
系 統 PID智能調節或可編程PID自動調節
溫度范圍 RT+10℃～200℃
溫度偏差 ±1.0℃
波 動 度 ±0.5℃
潔 凈 度 100級
內體材料 SU304不銹鋼板
外箱材料 SU304不銹鋼板或防銹處理冷軋鋼板（噴塑）
保溫材料 超細玻璃棉
加 熱 器 鎳鉻合金電熱式加熱器
循環系統 軸流風機
控制系統 高精度微電腦型LED顯示溫度控制器或LCD顯示溫度控制器
標準配置 樣品架2層、電源線1條
可選配置 測試孔（￠25m位于門上)、增加的樣品架
注：另外可按照客戶需求尺寸定做產品。