早期超純水的需求主要是來自發電、醫藥化工、造紙等行業，水質要求相對較低，其制備只要采用離子交換，該方法的主要缺點是化學藥劑再生，既麻煩又不經濟，而且由于強行樹脂對一般有機分子除去效果差，出水中TOC含量高，隨著半導體工業發展，對超純水質量要求提高，從而大大的推動了純水技術的發展，到了上個世紀末，膜技術得到了廣泛的應用，微濾，超濾，電滲析和反滲透技術先進的水處理技術得到了飛速的發展，膜法制備純水取代了傳統的離子交換設備系統，解決了TOC問題，滿足了電子行業對純水質量的要求取設備工藝，在膜法工藝中，超濾，微濾替代澄清，石英砂過濾器，活性炭過濾器，除去水中的懸浮物膠體和有機物，降低濁度，SDI，COD等，可以實現反滲透裝置對污水回用的安全，高效運行，以反滲透替代離子交換器脫鹽，進一步除去有機物，膠體，細菌等雜志，可以保證反滲透出水滿足EDI進水的要求，以EDI代替混床深度脫鹽，利用電而不是酸堿對樹脂再生，避免了二次污染。