超純水機設備大致分為預處理、反滲透、離子交換、終端超濾四個單元。自來水首先通過預處理單元，去除水中較大的顆粒、懸浮物以及部分有機物。然后進入反滲透單元，對水中的離子物質和大分子物質（如病毒、微生物等）進行截留性去除。之后再經過離子交換單元，對經過膜去除后殘余的微少離子進行純化和超純化，使水中的離子含量降低到痕量水平。最后通過UV、超濾等技術確保超純水中的微生物、有機物和熱原滿足各類實驗應用需求。
超純水設備，是采用預處理、反滲透技術、超純化處理以及后級處理等方法，將水中的導電介質幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理設備。 超純水機又稱做：超純水器，超純水設備，超純水儀，超純水系統，實驗室超純水器等。 超純水機所生產的超純水電阻率一般應大于10兆歐，10兆歐以上的水才叫超純水。優質超純水出水能達到18.25兆歐。

RUPF系列超純水設備（自來水為水源）

名稱		基礎型	除熱源型	低有機物型	綜合型
產品型號 標準型		RUPF	RUPF-1	RUPF-II	RUPF-III
進水要求		城市自來水：TDS<200 ppm，5-45℃，1.0-4.0Kgf/cm2 (進水TDS>200ppm時，建議選配外置軟化器)
系統流程		PF+RO+AC+PF+ AC+DI+TF	PF+AC+PF+RO+ AC+DI+UF+TF	PF+AC+PF+RO+ UV+DI+TF	PF+AC+PF+RO+ UV+DI+UF+TF
UP 超 純 水 指 標	電阻率	18.25MΩ.cm@25℃
	重金屬離子	< 0.1 ppb
	總有機碳(TOC)	<10 ppb		<3 ppb
	細菌	<0.1 cfu/ml
	熱源(內毒素)	N/A	<0.001 Eu/ml	N/A	<0.001 Eu/ml
	顆粒物(>0.2μm)	<1/ml
	核糖核酸酶(RNases)	N/A	<0.01 ng/ml	N/A	<0.01 ng/ml
	脫氧核糖核酸酶(DNases)	N/A	<4 pg/μl	N/A	<4 pg/μl
純水反 滲 透 水 指 標	離子截留率	96%-99%（1.使用新RO膜時2.去除率 ≥99% 雙級反滲透RO出水5чs/cm）
	有機物截留率	>99%，當MW>200道爾頓
	顆粒和細菌截留率	>99%
	產水量(25℃)	RUP***-10產水量為10L/H；RUP***-20產水量為20L/H；RUP***-30產水量為30L/H；RUP***-40產水量為40L/H
	瞬間出水量	2.0升/分鐘(需配壓力水桶)，(加裝UF機型流速會有降低)
控制系統	操作模式顯示	電源、缺水、滿水、純水取水、超純水取水、沖洗等；；
	安全性能	無水或水壓低、滿水停機等；
	系統監控	超純水水質監控、RO水水質監控、水溫監控；
出水口(觸摸按鍵)		2個：純水，UP超純水
外形尺寸/重量		長×寬×高：50×45×50cm/約35Kg
電源/功率		220V、50Hz/30W、35W、75W、80W
標準配置		主機(含1套純化柱)+15升壓力水桶+附件包