應用范圍：

錦正茂三維磁場探針臺 廣泛應用于半導體工業、MEMS 、超導、電子學、鐵電子學、物理學、材料學和生物醫學等領域。三維探針臺和錦正茂自主研發的高精度雙極性電源相匹配，通過真正的雙極性電源輸出，實現了空間任意方向上的矢量場合成。

可選附件：

þ 各類DC探針、高頻探針、主動式探針、電纜線

þ CCD或C-MOS視頻成像裝裝置

þ Chuck運動裝置

þ 電磁鐵系統/超導磁鐵系統

þ 1Mpa正壓系統升級

þ 超高溫升級選件

þ 超高真空升級選件

þ 各類探針夾具

þ 屏蔽箱

þ 防振桌

þ 轉接頭      

þ 靜音真空泵