高精度配氣系統(tǒng) 
管路口徑：根據(jù)用戶(hù)需要 
流量規(guī)格：根據(jù)用戶(hù)需要 
準(zhǔn)確度： ±1%FS 
特殊要求：±0.4%FS 
微量水泵：流量根據(jù)用戶(hù)需要 
汽化室溫度：150℃—500 ℃ 
配有計(jì)算機(jī)或工控機(jī)，內(nèi)置PCI 
板卡 
大屏幕LCD顯示屏，操作方便