MYCRO韓國制造的桌面型高精度勻膠機分為兩種類型,手控型SPIN1200勻膠機和數控型SPIN1200D勻膠機,均為實驗室項目研發設計的。主要用來將各類膠液溶液很精準地涂敷在平面基底材料上。
MYCRO韓國產勻膠機通過調整膠液的粘度,轉速和旋轉時間,涂層薄膜的厚度范圍從1000埃到100um自由控制。
特點:
*SPIN1200D勻膠機可用于光刻膠,聚合物,metallo-organics,dopants,silica films and most 有機或者aqueous溶液;
*勻膠機由PLC控制的可編程操作;
*勻膠機內基于可選擇轉速值和旋轉時間可以方便計算加減速度;
*SPIN1200D勻膠機通過前面操作面板和顯示屏,可以方便選擇多種鍍膜功能。
SPIN1200D勻膠機參數表:
基底尺寸:小片至4英寸基片;
腔體:8英寸(鋁陽極氧化膜保護層)
真空泵:無油真空泵
SPIN1200D勻膠機的旋涂狀態設定:可以設置50步加減速過程,同時可存儲20個不同材料的旋涂過程;
SPIN1200D勻膠機的旋涂轉速:最大至7000轉/分;
加速值:最大至3000轉/分;
旋轉馬達:直流伺服馬達;
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