MYCRO韓國制造的桌面型高精度數控勻膠涂層系統SPIN1200D,是轉為實驗室項目研發設計的。適用于半導體、硅片、晶片、基片、導電玻璃及制版等表面涂覆工藝,可在工礦企業、科研、教育等單位作生產、科研、教學之用。
通過調整膠液的粘度,轉速和旋轉時間,涂層薄膜的厚度范圍從1000埃到100um自由控制。
特點:
*可用于光刻膠,聚合物,metallo-organics,dopants,silica films and most 有機或者aqueous溶液;
*由PLC控制的可編程操作;
*基于可選擇轉速值和旋轉時間可以方便計算加減速度;
*通過前面操作面板和顯示屏,可以方便選擇多種鍍膜功能。
SPIN1200D參數表:
基底尺寸:小片至4英寸基片;
腔體:8英寸(鋁陽極氧化膜保護層)
真空泵:無油真空泵
旋涂狀態設定:可以設置50步加減速過程,同時可存儲20個不同材料的旋涂過程;
旋涂轉速:最大至7000轉/分;
加速值:最大至3000轉/分;
旋轉馬達:直流伺服馬達;
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