MSC系列勻膠機為美國原裝進口全自動數字式勻膠機。
該勻膠機適用于半導體、硅片、晶片、基片、導電玻璃及制版等表面涂覆工藝。
這一系列勻膠機還可在工礦企業、科研、教育等單位作生產、科研、教學之用。
MYCRO MSC-650系列勻膠機旋涂儀轉速獲NIST標準認證。
MYCRO MSC-400B型勻膠機,為高精度數碼控制器的勻膠旋涂儀,非常方便設定速度和加速度程序段,勻膠機內共設有20個51步程序段或者手動模式,100~8000RPM的穩定轉速,也可特別訂制1~12000RPM的轉速,可重復性達到+/-0.5RPM,分辨率小于0.5RPM。
MSC-400B系列勻膠機的數碼速度控制器采用的是一個高計數位的光學編碼器輸入至伺服馬達控制器,其設置點精度小于0.006%,獲美國NIST激光測量標準認證,無需校準。
請根據您實際需要的大小和材質選擇相應的勻膠機/旋涂儀訂購代碼:
NPP材質的6英寸勻膠機系列型號
MSC-400B-6N
MSC-400B-6N-IND
MSC-400B-6N-OND
◆勻膠機為NPP材質臺式
◆8.5英寸 (216 毫米) 直徑 桶狀處理腔
◆勻膠機可以涂敷最大直徑為6英寸 (150 毫米)或4英寸 X 4英寸 (102 X 102 毫米)的方形基底材料
◆理想的旋轉涂敷儀
◆銷量最好的臺式系統勻膠機
NPP材質的8英寸勻膠機系列型號:
MSC-400B-8N
MSC-400B-8N-IND
MSC-400B-8N-OND
◆勻膠機為NPP材質內置式帶遠程控制器
◆12.5英寸 (318 毫米) 直徑 桶狀處理腔
◆勻膠機可以涂敷最大直徑為8英寸 (200 毫米)或7英寸 X 7英寸 (178 X 178 毫米) 的方形基底材料
◆這系列勻膠機是銷量最好的wet-bench型系統
MSC系列勻膠機內的高精度數碼控制器:
可設定存儲20個不同樣片的旋涂程序段;
每個程序段可以設置51步不同的速度狀態;
勻膠機隨意任意時間范圍的加減速,可重復性達到+/-0.5RPM,分辨率小于0.5RPM;
這一系列的勻膠機上的液晶顯示屏可以實時讀取任意速度狀態
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