被動隔振裝置
蜂窩臺基型空氣彈簧式隔振裝置AYA系列
Type K5
Type K4
AYA 系列可謂是明立精機利用其獨有的先進技術開發出的集大成之作。通過強化水平方向的隔振性能，區分垂直、水平全部方向的微小振動，達到了滿足干涉計或全息攝影等光學實驗的需求，而且各個機構的性能也進一步提高，是一個兼備各種鋼制蜂窩夾層臺面優點的高性能隔振裝置。
明立精機獨有的平行搖擺機構
內置了明立精機所獨有的平行搖擺機構。這樣一來水平方向的固有頻率達到了為以往的1/3以下即0.5Hz。由于很多光學實驗需要將透鏡、棱鏡、反射鏡等利用支架和底座固定在平臺上以后才能進行，這對水平方向上的振動會有微妙的影響，而此機構正是針對這種情況的解決方案。
重視易用性的新機構
把可變阻尼的空氣阻尼機構作為標準配置沒，該機構可以根據光學實驗狀況自由設定最佳阻尼的。同時將使用了新材料Alpha-GEL的新型減震器用在了AYA 系列上。當平臺在搖晃時，在不影響減震性能的前提下，水平與垂直方向上阻尼都具有更強的使平臺穩定的能力，變得更易于使用。
Alpha-GEL是（株式會社）geltec的注冊商標。
AYA-Type K5
M6 的螺孔經過標準加工。（請在螺孔中心距50mm與螺孔中心距25mm中指定一個。）
在螺孔的內側安裝密封帽，使其成為密封構造。自動調節水平傳感器如果采用集中排氣型號，即使在級別100的凈化室內也能使用。
能在不降低蜂窩夾層平臺剛度的前提下進行連接（選購）。
技術參數
型號 AYA-1007K5 AYA-1209K5 AYA-1510K5 AYA-1809K5 AYA-1812K5 AYA-2010K5 AYA-2012K5 AYA-2015K5
固有頻率 垂直:1.1Hz 水平:0.5Hz
隔振方式
垂直:隔膜型空氣彈簧 水平: 平行搖擺機構
隔振來源 垂直:Air 可變阻尼孔上的空氣阻尼 水平: Alpha-GEL上的特殊阻尼
水平調節方式
通過自動調節水平裝置來自動保持平衡
臺面尺寸(mm) 1030x730 1200x900 1500x1000 1800x900 1800x1200 2000x1000 2000x1200 2000x1500
臺面厚度(mm) 100 200
臺面材質 鋼制蜂窩夾層:上面板為具有磁性的不銹鋼SUS430 5t(6t)，下面板SS400 4.5t
機體高度(mm) 800
機體重量(kg) 185 280 365 390 465 440 505 615
承載(kg) 300
共計空氣壓力 0.35-0.70MPa （安裝自帶過濾器的減壓閥）
型號 AYA-2212K5 AYA-2215K5 AYA-2412K5 AYA-2415K5 AYA-3012K5 AYA-3015K5 AYA-3612K5 AYA-4015K5
固有頻率 垂直:1.1Hz 水平:0.5Hz 垂直:1.2Hz 水平:0.8Hz
隔振方式
垂直:隔膜型空氣彈簧 水平: 平行搖擺機構
隔振來源 垂直:Air 可變阻尼孔上的空氣阻尼 水平: Alpha-GEL上的特殊阻尼
水平調節方式
通過自動調節水平裝置來自動保持平衡
臺面尺寸(mm) 2200x1200 2200x1500 2400x1200 2400x1500 3000x1200 3000x1500 3600x1200 4000x1500
臺面厚度(mm) 200 300
臺面材質 鋼制蜂窩夾層:上面板為具有磁性的不銹鋼SUS430 5t(6t)，下面板SS400 4.5t
機體高度(mm) 800
機體重量(kg) 535 655 580 710 800 995 945 1275
承載(kg) 300
共計空氣壓力 0.35-0.70MPa （安裝自帶過濾器的減壓閥）
標注：固有頻率是最大載荷（平均負載）時的值
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AYA-Type K4
M6 的螺孔經過標準加工。（請在螺孔中心距50mm與螺孔中心距25mm中指定一個。）
在螺孔的內側安裝密封帽，使其成為密封構造。自動調節水平傳感器如果采用集中排氣型號，即使在級別100的凈化室內也能使用。
能在不降低蜂窩夾層平臺剛度的前提下進行連接（選購）。
技術參數
型號 AYA-1007K4 AYA-1209K4 AYA-1510K4 AYA-1809K4 AYA-1812K4 AYA-2010K4 AYA-2012K4 AYA-2215K4
固有頻率 垂直：1.1Hz 水平：0.5Hz
隔振方式 垂直：隔膜型空氣彈簧 水平：平行搖擺機構
隔振來源 垂直：可變阻尼孔上的空氣阻尼 水平： Alpha-GEL上的特殊阻尼
水平調節方式 通過自動調節水平裝置來自動保持水平
臺面尺寸(mm) 1030x730 1200x900 1500x1000 1800x900 1800x1200 2000x1000 2000x1200 2200x1500
臺面厚度(mm) 100 200
臺面材質 鋼制蜂窩夾層：上面板SUS430 5t(6t)， 下面板SS400 4.5t
機體高度(mm) 800
機體重量(kg) 170 250 325 350 410 385 440 535
承載(kg) 300
供給空氣壓力 0.35-0.70MPa （安裝有自帶過濾器的減壓閥）
型號 AYA-2212K4 AYA-2215K4 AYA-2412K4 AYA-3012K4 AYA-3015K4 AYA-3615K4 AYA-4012K4 AYA-4015K4
固有頻率 垂直：1.1Hz 水平：0.5Hz 垂直：1.2Hz 水平：0.8Hz
隔振方式 垂直：隔膜型空氣彈簧 水平：平行搖擺機構
隔振來源 垂直：可變阻尼孔上的空氣阻尼 水平： Alpha-GEL上的特殊阻尼
水平調節方式 通過自動調節水平裝置來自動保持水平
臺面尺寸(mm) 2200x1200 2200x1500 2400x1200 3000x1200 3000x1500 3600x1500 4000x1200 4000x1500
臺面厚度(mm) 200 300
臺面材質 鋼制蜂窩夾層：上面板SUS430 5t(6t)， 下面板SS400 4.5t
機體高度(mm) 800
機體重量(kg) 465 570 505 655 810 945 830 1025
承載(kg) 300
供給空氣壓力 0.35-0.70MPa （安裝有自帶過濾器的減壓閥）
