牛津儀器目前正在中國科技大學(xué)納米技術(shù)中心安裝數(shù)臺PlasmaPro等離子刻蝕和沉積設(shè)備，以促進(jìn)其在微納米技術(shù)領(lǐng)域的基礎(chǔ)研究。中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)納米制造中心位于安徽合肥，致力于微納米領(lǐng)域的跨學(xué)科交流和基礎(chǔ)研究。

中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)的朱學(xué)林博士談道，“在納米科學(xué)和工程領(lǐng)域，中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)擁有雄厚的背景。所屬的納米技術(shù)中心采購的牛津儀器設(shè)備包括：一臺 PlasmaPro100 ICP380硅蝕刻設(shè)備，一臺PlasmaPro80 RIE先進(jìn)蝕刻設(shè)備和一臺PlasmaPro100 PECVD用于二氧化硅和氮化硅。 這些設(shè)備可以批量在晶片上形成形狀各異的納米結(jié)構(gòu)，該技術(shù)在納米科技的領(lǐng)域（包括量子物理、量子信息、納米材料和納米化學(xué)）至關(guān)重要。我們之所以選擇牛津 儀器，是因?yàn)樗麄兡芴峁┒囗?xiàng)尖端技術(shù)、杰出的工藝靈活性和性能，并具備有效可靠的客戶支持，完全能滿足中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)的需求。”

“作為全球領(lǐng)先的等離子刻蝕和沉積設(shè)備領(lǐng)域供應(yīng)商，牛津儀器的主要優(yōu)勢是可以提供廣泛的研發(fā)工藝和系統(tǒng)解決方案，從而成為全球各研究機(jī)構(gòu)的首選。” 牛津儀器等離子部銷售與市場總監(jiān)David Haynes博士談道，“中國科技大學(xué)的研究工作者正在突破納米科學(xué)、納米工程和納米技術(shù)的局限性，積極地創(chuàng)造新型的納米材料、結(jié)構(gòu)和芯片，非常榮幸我們 的設(shè)備能促進(jìn)這項(xiàng)杰出的研究工作。”