Park Systems是一家起源于美國硅谷世界知名技術領先的原子力顯微鏡制造商。中科院微電子所是中國微電子領域的領袖之一。2012年6月18日，這兩位微電子領域的巨人正式開始合作，一起進軍新一代的半導體材料“石墨烯”。天美(中國)科學儀器有限公司作為Park Systems在中國的獨家代理，以其雄厚的維修和應用支持力量，會為微電子所提供最優良的技術和售后服務。
本次合作的另一大重要意義是將最為成熟的針尖增強拉曼光譜系統應用于最前沿的石墨烯研究。針尖增強拉曼光譜系統是目前研究的應用熱點，英文稱之為Tip Enhanced Raman Spectroscopy, 簡稱TERS。該技術利用表面等離子體共振現象，把原子力顯微鏡和拉曼光譜儀結合起來，將拉曼光譜儀的分辨率提高到了納米尺度。Park Systems公司和Horiba Jobin Yvon公司的合作開發的TERS系統是目前全世界最為成熟穩定的。
為了紀念這一重大進展，天美公司副總裁趙薇女士、Park Systems的全球銷售總監Jessica和微電子所的金智主任共同為示范實驗室的建立進行了揭幕，儀式后合影留念。三方一起為今后開展更為深入的技術合作進行了探討，并取得了非常愉快的共識。
石墨烯材料具有優良的物理特性和易于與硅技術相結合的特點，被學術界和工業界認為是推進微電子技術進一步發展的極具潛力的材料，其開發者獲得了2010年的諾貝爾物理學獎。Park Systems生產的XE系列原子力顯微鏡已被成功應用于石墨烯機械和電子性能的測試，相關測量結果被發表在 Science、Nature materials和Nano Letter上。目前，中國科學院微電子研究所微波器件與集成電路研究室(四室)石墨烯研究小組在金智研究員和劉新宇研究員的帶領下，正致力于研制高性能的石墨烯電子器件。隨著Park Systems原子力顯微鏡的安裝和投入使用，必將會有更多更有價值的測量結果被發掘出來。
