近日，“十二五”國家科技支撐計劃重點項目——微納技術計量標準和標準物質研究啟動會在中國計量科學研究院召開。該項目是中國計量院“十二五”期間啟動的第二個科技支撐計劃項目。

　　據了解，項目組在前期調研分析基礎上制定了微納結構特性量值溯源體系發展路線圖。據此，該項目將在微納幾何結構計量技術研究、微納結構化學特性計量技術研究、微納力學特性計量技術研究和微納計量儀器的核心器件及部件的研制4個方向開展研究。計劃建立基標準裝置6套、研制標準物質7類19~26種、研制計量用微納核心器件3類和關鍵部件1套、建立測量系統4套與測量方法4項，初步建立較為完整的微納技術計量傳遞體系，項目成果水平將達到或超過美國等發達國家現有水平。

　　微納技術包括微納米材料、結構、器件、系統的設計制造及測量技術，涵蓋了微電子、MEMS/NEMS、納米技術等高新技術領域，在我國戰略性新興產業發展過程中具有重要作用。近年來，微納技術的發展對計量學提出了嚴峻的挑戰，高準確度的微納結構特性計量基標準、標準物質以及微納器件和部件是保證微納技術領域快速可持續發展的重要技術支撐。當前，我國微納技術研究成果已與先進國家相當，產業化進程顯著加快，不少產品的產量位居世界前列。但高端產品短缺數量少、品質差，缺乏市場競爭力，高水平的基礎研究成果難以產業化。究其原因，主要就是微納計量技術的研究嚴重滯后、計量基標準和標準物質嚴重匱乏，核心技術嚴重落后，難以支撐我國微納技術產業化的發展。