應(yīng)用領(lǐng)域：
l 生物芯片領(lǐng)域
l 醫(yī)用材料、光學(xué)材料研究
l 電子半導(dǎo)體領(lǐng)域
l 高分子材料研究
l 電化學(xué)、高端零部件處理
l 有機(jī)材料的灰化、刻蝕
儀器性能：
l 自動(dòng)調(diào)頻高頻發(fā)生器
l 內(nèi)置旋轉(zhuǎn)真空泵
l 此系統(tǒng)通常使用氧及氬的混合氣體，氧去除有機(jī)物質(zhì)（碳?xì)浠衔铮瑲鍖?duì)樣品表面進(jìn)行刻蝕
l 低溫等離子灰化、刻蝕、清洗 (0-150 watts RF)
l 真空監(jiān)測.
l 雙重氣流針閥控制
l 精確時(shí)間定時(shí)
l 微處理器程序設(shè)置
l LCD狀態(tài)數(shù)字顯示
l 腔室為圓柱形，樣品裝載為抽屜式抽拉系統(tǒng)，樣本操作方便
l 聚碳酸脂安全防護(hù)
技術(shù)參數(shù)：
|
電鏡有機(jī)樣本的刻蝕尺寸 |
450mm(W)x350mm(D)x300mm(H) |
|
工作腔室 |
派熱克斯玻璃 150mm(L)x100mm(Dia.) (硼硅酸鹽玻璃為標(biāo)準(zhǔn)配置) |
|
重量 |
25Kg |
|
等離子體輸出 |
最大150w，13.56 MHz 。 |
|
等離子體輸出 |
最大150w，13.56 MHz 。 |
|
真空度 |
>ATM to 1 x 10-5mbar；通常 0.5 mbar to 1.0 mbar. |
|
時(shí)間控制 |
最長可設(shè)置99小時(shí)59分鐘 |
|
雙重氣流控制 |
雙重針閥氣流控制，可選1種或2種氣體（校準(zhǔn) 5-100cm3/min air at A.T.P) |
|
電源 |
230 V， 50Hz (3 amp Max) |
訂購信息：
|
貨號(hào) |
產(chǎn)品名稱 |
規(guī)格 |
|
93000 |
EMS 1050 低溫灰化儀 |
臺(tái) |
|
91005-F |
Rotary Vacuum Pump (Fomblin) |
個(gè) |