氣體塵埃粒子計數(shù)器的校正程序 

•  校正所需設(shè)備 

•  100 級潔凈房或潔凈臺 

•  一臺用于作對比，尚在校正期內(nèi)的塵埃粒子計數(shù)器，如 Metone3400 

•  各粒徑的標準粒子，如 0.3um ; 0.5um ; 1um 等等 

•  標準粒子氣體產(chǎn)生器，如 Model 255 

•  可產(chǎn)生脫離水（ DI 水）的純水系統(tǒng)或類似裝置 

•  其它普通電器，如 220V 電源插座，萬用表等等 

•  校正的基本原理 

標準粒子（如 0.301um ）通過 255 粒子產(chǎn)生器由液狀霧化成氣體，并由其內(nèi)置泵通過 0.2um 的過濾器后的干燥氣體進入取樣管路，這時，將兩臺相同塵埃粒子計數(shù)器同時或先后對取樣管進行抽樣測試，并比校 0.3um 粒徑的測試值。如果其平均值在 20% 以內(nèi)，認為合格。如果不同型號的粒子計數(shù)器，一定要弄清楚其流速，取樣時間，取樣次數(shù)等參數(shù)，并且，還要明白怎樣理解其測試結(jié)果。