設備主要技術參數
槽數：2個PVDF HF腐蝕槽，2個PP噴淋槽，1個PP洗手槽
氮氣槍、水槍各1套；
清洗硅片尺寸：Φ6英寸；
包板材料：德國進口鹽白PP板材；
電氣功率：單相220V AC，10KW；
純水進水接口口徑：2-25A（CPVC材質），80L/min以上；
氮氣供給：接口口徑2-Φ6，100L/min以上；
壓縮空氣供給：接口口徑2-Φ10mm ，1000L/min以上；
層流罩規格：百級，3.9x0.45m²,風速0.2~0.3 m/s；
PLC控制，觸摸屏操作，聲光提示，錯誤報警。