＊通過洗劑噴淋、輪刷刷洗、噴淋清洗、超聲波清洗、風刀風干、紫外線照射等方法，清潔干燥ITO玻璃基板表面。
＊裝置組成：
1.上料裝置
2.傳送裝置
3.洗劑噴淋
4.洗劑刷洗單元
5超聲單元
6.二流體清洗
7.超聲波（兆聲）清洗單元
8.超純水噴淋清洗單元
9.風刀風干
10.紫外線照射（UV）
11.下料裝置
12.溶液混和箱
13.二流體泵及過濾單元
14.藥液循環泵及過濾單元
15.主控制柜
16.純水加熱器