功能描述:主要是將感光部分的光刻膠溶除,留下未感光的部分的膠膜,從而顯示所需要的圖形。(我司設備均為非標產品,根據客戶要求訂制)
樣品設備描述:
1. 可顯影玻璃基板尺寸:1900 mm× 2200 mm,厚度為0.3—1.1 mm;
2. 具有封閉的顯影工作腔。配備排風系統,避免所用藥液揮發對使用人員和環境造成危害;
5. 顯影液、定影液采用浸潤式(puddle)與光刻膠反應。同時設備還需具備噴淋式(spray)顯影的能力。浸潤式與噴淋式兩種顯影模式可以相互切換使用,切換過程簡單可行。
6. 顯影系統:設備配備兩路顯影液供給系統。可以用于不同光刻膠的顯影。并能保證這兩路顯影系統能夠交替使用;
7. 定影系統:設備配備兩路定影供給系統。其中一路定影液供給系統提供Di-Water。另一路定影液供給系統用于提供專用定影液,配備有SUS316L的不銹鋼壓力罐以及適用于有機溶劑的管路,用于儲存和配送定影液
12. 對于顯影液,具有恒溫保護功能,溫度控制分辨率達到1 ℃,控溫精度達到±1 ℃。
13. 具備噴液噴液時間0.1-999.9 s 可連續調解,調節精度為0.1 s;
14. 設備具有防濺、廢液收集功能。如果采用容器收集廢液需配備液面監測器;
15. 清洗維護:提供實用且簡單易行的顯影腔室清洗方案。
顯影機