流量范圍 10SCCM-125SLPM
響應時間 ≤2sec
準確度 ≤1%FS
重復精度 ±0.25%
輸入/輸出信號 0-5VDC,4-20mA
供電電源 +15~28VDC,350mA
耐壓 <9MPa
工作環(huán)境溫度 0-50℃
泄漏率 1*10-9atm.cc/sec
LINE-TECH質量流量控制器
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LINE-TECH質量流量控制器
詳細信息 流量范圍 10SCCM-125SLPM
響應時間 ≤2sec 準確度 ≤1%FS 重復精度 ±0.25% 輸入/輸出信號 0-5VDC,4-20mA 供電電源 +15~28VDC,350mA 耐壓 <9MPa 工作環(huán)境溫度 0-50℃ 泄漏率 1*10-9atm.cc/sec |