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首頁 > 供應產品 > 供應Park SystemsXE-100旗艦通用型高端高精度原子力顯微
供應Park SystemsXE-100旗艦通用型高端高精度原子力顯微
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品牌: 4720
單價: 面議
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發貨期限: 自買家付款之日起 天內發貨
有效期至: 長期有效
最后更新: 1970-01-01 08:00
 
詳細信息
XE-100是Park Systems的旗艦產品。該產品可以實現精確的納米計量和無損檢測。新增的多區域自動掃描功能,更是極大的提高了檢測效率。該系統可廣泛的應用于材料科學、聚合物、電化學等諸多領域。近年來,Raman HR-800和XE-100的聯合系統更是幫助VLSI開拓出了對100納米以下硅微結構進行機械性能分析的新天地。
技術參數(機械部分):
1. XY掃描器:50μm×50μm(閉環),可選配100μm×100 μm(閉環)
2. Z掃描器:12μm (可選配25μm)
3. 水平度:50μm線掃描垂直偏差不超過1nm
4. XY和Z掃描器的正交性:1.0o
5. 樣品臺移動范圍:25mm×25mm(X/Y),27.5mm (Z)
6. 樣品尺寸:100mm×100mm
7. 光學觀察:垂直光路設計,可直接觀察微懸臂和樣品
技術參數(電子部分)
1. 微處理器:600MHz,4800MIPS DSP
2. 模數/數模:16位,500kHz采樣頻率
3. 圖像采集:同步自動采集16幅圖像,分辨率高達4096×4096像素
4. 通訊方式:采用基于TCP/IP協議的通訊方式與計算機聯接
5. 符合CE認證標準
標準工作模式:
. 真正非接觸模式(True non-contact mode)
. 接觸模式(contact mode)
. 相位模式(phase imaging)
. 橫向力模式(LFM)
擴展工作模式:
. 力測量(Force measurements)
. 導電(Conductive AFM)
. 電力(Electric Force)
. 電子 (Electrical)
. 磁性 (Magnetical)
. 機械 (Mechanical)
. 熱 (Thermal)
主要特點:
一、 計量精確
XE系列AFM徹底消除了球面誤差,因而具備了實現精確納米計量的能力。
二、 掃描器線形度高,直角正交
XE系列AFM采用了柔性掃描器最大限度減小了X和Y掃描運動的交叉耦合,并且通過位移傳感器及時進行反饋控制,這就有效保證了掃描的準確度和精度。
三、 非接觸式掃描
可真正實現非接觸式掃描是Park AFM最顯著的技術優勢。采用這一模式掃描時,針尖和樣品間距可以保持在幾個納米,在避免針尖磨損的同時提高了成像質量。
四、 CrN樣品測試結果
CrN樣品具有點狀尖銳的特點,是常用的AFM探針性能測試樣品。如采用輕敲模式進行掃描,10次后圖像質量就因針尖磨損而明顯下降。在非接觸掃描實驗中,掃描100次后圖像細節依然清晰,證明針尖沒有受到損傷。
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