全反射X射線熒光光譜儀的工作原理（TXRF） 
X射線熒光光譜分析法(XRF)的原理：原子受原級(jí)X射線激發(fā)后，發(fā)出次級(jí)X射線熒光。因此，XRF 分析法可以： 
 根據(jù)熒光的波長(zhǎng)和能量，確定元素； 
 各元素的濃度可根據(jù)熒光的強(qiáng)度進(jìn)行計(jì)算。 

X射線由Mo靶或W靶產(chǎn)生，在Ni/C人工多層膜上反射并單色化。扁平的光束以非常小的角度(0.3 – 0.6 °)掠射裝有樣品的樣品架，并產(chǎn)生全反射。樣品所產(chǎn)生的特征熒光被能量色散探測(cè)器(XFlash® detector) 探測(cè)，強(qiáng)度通過(guò)偶合的多通道分析器測(cè)量。