200mm硅光項目和成套工藝開發爐管等設備采購項目國際競爭性招標

氮化硅和氧化硅刻蝕設備、高溫氮化硅介質膜熱生長設備等

各1套

2216萬元

06月01日

200mm硅光項目和成套工藝開發深紫外曝光設備等設備采購項目國際競爭性招標

晶圓涂膠和顯影設備、深紫外線曝光設備

各1套

2640萬元

06月01日

200mm硅光項目和成套工藝開發濕法刻蝕設備采購項目

晶圓片噴霧清洗設備、晶圓手動清洗設備、化學液供給設備

各1套

970萬元

06月04日

200mm硅光項目和成套工藝開發硅刻蝕等設備采購項目國際競爭性招標重新招標

硅材料刻蝕設備、晶圓背面清洗設備

各1套

2710萬元

06月06日

200mm硅光項目和成套工藝開發光學顯微鏡采購項目國際競爭性招標重新招標

光學顯微鏡

1套

52萬元

06月08日

200mm硅光項目和成套工藝開發機械真空泵采購項目國際競爭性招標重新招標

機械真空泵

1套

260萬元

06月08日

200mm硅光項目和成套工藝開發貼膜機采購項目國際競爭性招標重新招標

貼膜機

1套

300萬元

06月11日

200mm硅光項目和成套工藝開發本地尾氣處理設備采購項目國際競爭性招標重新招標

本地尾氣處理設備

1套

500萬元

06月12日

200mm硅光項目和成套工藝開發濕法刻蝕設備采購項目重新招標

晶圓片噴霧清洗設備、晶圓手動清洗設備、化學液供給設備

各1套

970萬元

06月11日

200mm硅光項目和成套工藝開發干法去膠設備采購項目國際競爭性招標重新招標

干法去膠設備

1套

325萬元

06月14日

200mm硅光項目和成套工藝開發光刻后測量設備采購項目國際競爭性招標重新招標

光刻后層與層間對準精度測量設備、圖形尺寸測量掃描電鏡

各1套

950萬元

06月21日