等離子體將樣品溶液高效率離子化，由質譜儀進一步分離檢測。具有可進行高靈敏度、多元素同時分析、定性簡單、可分析同位素等特長，并且采用四極桿型質譜儀，裝置尺寸小。 
→分析部、四極桿型質譜儀 主桿 鉬雙曲線桿 
前置桿 鉬圓柱桿 
→檢測器 二次電子倍增管 
→采用微炬管、同軸霧化器